大型仪器设备购置论证结果公示

审核发布:资产管理处 来源单位及审核人: 发布时间:2021-03-25浏览次数:10

根据《黄网站免费永久在线观看大型仪器设备购置论证实施细则(试行)》的有关规定,食品学院拟采购光刻机1台,于20213月19日进行论证,现将设备相关基本情况(见附件)予以公示。

公示时间为2021年3月25-20214月1日。如有异议,请于公示期内向资产与实验室管理处反映。以个人名义反映情况的,请提供真实姓名(并签名)、联系方式和反映事项的证明材料等;以单位名义反映情况的,请提供单位名称(并加盖公章)、联系人、联系方式和反映事项的证明材料等。不受理匿名或无证明材料的异议。

 

联系人:毕老师凌老师

联系电话:85281780 85287399

办公地点:行政楼433

 

资产与实验室管理处

2021年3月25日

 

 

 

   附件:


设备名称

光刻机

主要技术参数

1. 曝光波长;365nm

2. 曝光面积:150*150mm

3. 对准精度:±0.6μm

4.分辨率:0.8-1μm(胶厚2μm的正胶)

5.对准运动行程:X:5mm;Y:5mm,θ:6度

6.曝光方式:定时(倒计时方式)和定剂量

7. 掩膜尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

8. 最大厚胶:500 μm(SU8胶)

申购学院

食品学院

预算金额

48万元

论证结果

拟同意购买

 


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